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極限壓強又稱極限真空，泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。即真空泵的入口端經過充分抽氣后所能達到的最低的穩定的壓力 。通常真空容器須經12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其10次的平均值為極限真空值。